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堀場エステック社製品

フローコントローラー カスタムユニット

CU-2130/2140 シリーズは、マスフローコントローラーとコンパクト制御ユニットを一体にした卓上型ユニットです。

特長

CU-2130

  • マスフローコントローラーが外付けのため、試験条件に合わせて簡単に取り換え可能。
  • お手持ちのマスフローコントローラーにも交換が可能。
  • 低沸点液体材料・高粘度液体材料の精度流量制御
  • 持ち運びに便利な取手を標準付属。

CU-2140

  • マスフローコントローラーと多機能制御ユニットを一体にしたオールインワンモデル。
  • プログラム機能、プリセット機能、積算機能等の多彩な機能が搭載。

仕様

電源 ：AC100 ～ 240 V（50/60 Hz）
消費電力 ：30 VA（電源ケーブル3 m 付属）
型 式
搭載 MFC/MFM
ガス種/流量単位＊
接続継手
価 格
CU-2130
SEC-E40MK3
指定してください
（SCCM、SLM、CCM、LM）
1/4”Swagelok
169,500
SEC-E50MK3
208,000
CU-2140
SEC-E40MK3
1/4”Swagelok
240,000
SEC-E50MK3
278,000