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流量計

小型流量センサー（サーマル式） MF-Fフローラインシリーズ

特長

  • 大容量でもコンパクト
    • 500、1000L/minタイプでは、業界トップクラスの小型化を実現しました。設備の小型化、軽量化に貢献します。
  • 高速応答 50msec以下
    • シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献します。
  • 精度±3%F.S.以下
    • 精度±3%F.S.以下を実現し、より正確な流量計測が可能になりました。
  • 自由な取り付け姿勢
    • 上下左右どの方向にも取り付けることができます。
  • 直管部不要
    • 新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要です。
  • ツイン表示/2色表示機能
    • ツイン画面とサブ画面により、操作性を向上させました。さらに、2色表示で異常が一目でわかります。
ボディ材質
接続口径
フルスケール流量
500
mL/min
1
L/min
2
L/min
5
L/min
10
L/min
20
L/min
樹脂
φ6
ワンタッチ
○
○
○
○
○
○
φ8
ワンタッチ
            
ステンレス
Rc1/8
○
○
○
○
○
○
Rc1/4
            
アルミ
Rc1/2
            

ボディ材質
接続口径
フルスケール流量
50
l/min
100
L/min
200
L/min
500
L/min
1,000
L/min
樹脂
φ6
ワンタッチ
○
        
φ8
ワンタッチ
○
○
○
    
ステンレス
Rc1/8
○*1
        
Rc1/4
○
○
○*2
    
アルミ
Rc1/2
      
○
○

＊1:炭酸ガスモデルは除く
＊2:アルゴンモデル、炭酸ガスモデルは除く

小型流量センサーMF-F フローラインシリーズ

品名型式流量範囲材質入数Cat.No.価格
小型流量センサーMF-FS10CS08-010-AI-ANAAir/N2:0～1L/minステンレス製（禁油）1台3015-0040870,000
小型流量センサーMF-FS10CS08-050-AI-ANAAir/N2:0～5L/minステンレス製（禁油）1台3015-0040970,000
小型流量センサーMF-FS10CS08-010-C2-ANACO2:0～1L/minステンレス製（禁油）1台3015-0041070,000
小型流量センサーMF-FS10CS08-050-C2-ANACO2:0～5L/minステンレス製（禁油）1台3015-0041170,000
小型流量センサーMF-F2P10NH06-010-AI-ANAAir/N2:0～1L/min樹脂製1台3015-0041250,000
小型流量センサーMF-F2P10NH06-050-AI-ANAAir/N2:0～5L/min樹脂製1台3015-0041350,000
小型流量センサーMF-F2P10NH06-100-AI-ANAAir/N2:0～10L/min樹脂製1台3015-0041450,000
小型流量センサーMF-F2P10NH06-500-AI-ANAAir/N2:0～50L/min樹脂製1台3015-0041550,000

AC100アダプターとMF-F用アダプターケーブルを用いることで、コンセントに繋いでそのままご利用いただけます。

MF-F用ACアダプター

品名型式入数Cat.No.価格
MF-C/MF-F用ACアダプターKSW-2405H1個3015-0042310,000
MF-F用ACアダプターケーブルMF-F1M-FL6125741本3015-004176,000

注）その他ケーブルについてはお問い合わせください。