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ボンベ用調整器（ガス圧力調整器）

二段圧力調整器 MSR-1S

二段減圧構造の採用により、出口圧力の変動を極めて低減し、安定したガス供給を実現する圧力調整器です。
ボンベ圧力（残圧）の影響に受けにくく、低圧・小流量域においても高精度な圧力制御が可能です。

仕様

型式 MSR-1B MSR-1S
使用ガス O2、N2、Ar、Air、H2、He etc. O2、N2、Ar、Air、H2、He etc.
一次側圧力（MPa） 2〜15、2～20 2〜15、2～20
二次側圧力（MPa） 0.05～0.99 0.05～0.99
使用温度（℃） ⁻10～40（設定温度⁻10～75℃） ⁻10～40（設定温度⁻10～75℃）
本体 C3604B SUS316
ダイアフラム SUS304 SUS304
弁材 PCTFE PCTFE
その他 C3604B SUS316
フィルタの粗さ 600 メッシュ 600 メッシュ
質量（kg） 1.9 2.0
標準流量 L/min 56 (P1=15 MPa , P2=0.6 MPa N2値) 56 (P1=15 MPa , P2=0.6 MPa N2値)
最大流量 L/min 70(P1=15 MPa , P2=0.6 MPa N2値) 70(P1=15 MPa , P2=0.6 MPa N2値)
認定品制作 〇 〇
左高圧製作 〇
 〇

＊MSR-1Sは、腐食性混合ガス（腐食性ガス1000ppm以下）を混合した標準ガスに使用できます。（Hcl、F2等強腐食性ガスは除く）

流量曲線図の画像

流量曲線図

圧力変動曲線

型式の選定方法

※製品の仕様は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

品名低圧側圧力計（最高使用圧力）メーカーP/N入数Cat.No.価格
二段圧力調整器 (O2,N2,Ar,Air)0.6MPa（0.4MPa）MSR-1S-R-11N01-2205１台3025-00082119,300
二段圧力調整器 (H2)0.6MPa（0.4MPa）MSR-1S-R-12N01-2205１台3025-00083119,300
二段圧力調整器 (He)0.6MPa（0.4MPa）MSR-1S-R-13N01-2205１台3025-00084119,300