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堀場エステック社製 流量制御装置（マスフローコントローラー）
フローコントローラー カスタムユニット
CU-2130/2140 シリーズは、マスフローコントローラーとコンパクト制御ユニットを一体にした卓上型ユニットです。
CU-2130
特長
- マスフローコントローラーが外付けのため、試験条件に合わせて簡単に取り換え可能。
- お手持ちのマスフローコントローラーにも交換が可能。
- 低沸点液体材料・高粘度液体材料の精度流量制御
- 持ち運びに便利な取手を標準付属。
仕様
| 電源 | ：AC100 ～ 240 V（50/60 Hz） |
| 消費電力 | ：30 VA（電源ケーブル3 m 付属） |
| 型 式 |
搭載 MFC/MFM
|
ガス種/流量単位＊ | 接続継手 |
|---|---|---|---|
|
CU-2130
|
SEC-E40MK3
|
指定してください
（SCCM、SLM、CCM、LM）
|
1/4”Swagelok
|
|
SEC-E50MK3
|
| 品名 | 型式 | 流量範囲 | 入数 | Cat.No. | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-N2-50sccm-4IS | N2:0～50mL/min | 1台 | 3015-00424 | 169,500 |
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-N2-100sccm-4IS | N2:0～100mL/min | 1台 | 3015-00425 | 169,500 |
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-N2-500sccm-4IS | N2:0～500mL/min | 1台 | 3015-00426 | 169,500 |
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-H2-50sccm-4IS | H2:0～50mL/min | 1台 | 3015-00427 | 169,500 |
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-H2-100sccm-4IS | H2:0～100mL/min | 1台 | 3015-00428 | 169,500 |
| マスフローコントローラーカスタムユニット | CU-2130-SEC-E40MK3-H2-500sccm-4IS | H2:0～500mL/min | 1台 | 3015-00429 | 169,500 |
CU-2140
特長
- マスフローコントローラーと多機能制御ユニットを一体にしたオールインワンモデル。
- プログラム機能、プリセット機能、積算機能等の多彩な機能が搭載。
仕様
| 電源 | ：AC100 ～ 240 V（50/60 Hz） |
| 消費電力 | ：30 VA（電源ケーブル3 m 付属） |
| 型 式 |
搭載 MFC/MFM
|
ガス種/流量単位＊ | 接続継手 | 価格 |
|---|---|---|---|---|
|
CU-2140
|
SEC-E40MK3
|
指定してください
（SCCM、SLM、CCM、LM）
|
1/4”Swagelok
|
240,000
|
|
SEC-E50MK3
|
278,000
|