製品情報

ボンベ用調整器(ガス圧力調整器)

高純度ガス用圧力調整器 SR-1HL

高純度ガスや腐食ガスの供給に最適な高気密設計の圧力調整器です。
外部リーク量が極めて低く、外気混入を最小限に抑制。微量分析において要求される高い清浄性を確保し、GC/MSなどの質量分析計などに最適です。

高純度ガス用圧力調整器 SR-1HL
高純度ガス用圧力調整器SR-1HL

仕様

一次側圧力(MPa) 2〜15
二次側圧力(MPa) 0.1〜0.99
使用温度(℃) ⁻10~40(設定温度⁻10~75 ℃)
口径 1/4
外部リーク量(Pam3/sec) ネジ規格:1.01×10⁻⁹ 以下
溶接接続:1.01×10⁻¹¹ 以下
本体・ダイアフラム SUS316
弁材 PCTFE
その他 SUS316、SUS304、PTFE
フィルタの粗さ 600メッシュ
質量(kg) 1.2
標準流量 L/min 400 (P1=15 MPa , P2=0.99 MPa)
最大流量 L/min 500 (P1=15 MPa , P2=0.99 MPa)
認定品制作
左高圧製作

*SRシリーズ圧調整器の逃し弁はオプションです。
 別途、出口配管上に安全弁を取り付けるようお願いします。ボンベ説毒(足ネジ)タイプは逃し弁付きを推奨します。

流量曲線図の画像

流量曲線図

圧力変動曲線

型式の選定方法

※製品の仕様は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

品名低圧側圧力計(最高使用圧力)メーカーP/N入数Cat.No.価格
高純度ガス用圧力調整器 (O2,N2,Ar,Air)1MPa(0.66MPa)SR-1HL-R-11TF02-2210-I-F1台3025-00088110,700