製品情報

ボンベ用調整器(ガス圧力調整器)

耐蝕調整器(S-LABO M1シリーズ)

  • 特に腐食性の高いガスに対応するため、本体材質にモネルを採用
  • 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用
  • 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産(真鍮製を除く)
  • 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用
  • 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵

仕様

接ガス主要部材質 本体/NCu、ダイヤフラム/SUS316L
他/NCu・フッ素樹脂
使用圧力範囲 MPa 入口側(P1) 0.5~15
出口側(P2) 0.3 MPa計:0.02~0.2
0.6 MPa計:0.02~0.4
1.5 MPa計:0.02~1.0
重量 約1.6 kg
(M1-1VR-1G7G-B1N1)
常用流量
L/min(nor)
N2ガス
170
P1=10 MPa、P2=1 MPaの時
使用温度 ⁻10~40 ℃(但し、精度保証は⁻5~40 ℃)
 

流量特性

外観図

型式の選定方法

品名低圧側圧力計(最高使用圧力)メーカーP/N入数Cat.No.価格
耐蝕調整器 モネル 塩素,塩化水素,臭化水素混合ガス1.5MPa(1MPa)M1-1VR-1G5G-B1N11台3025-00064372,000