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堀場エステック社製品

デジタルマスフローコントローラーSEC-N100 シリーズ

SEC-Nシリーズは、デジタル／アナログ、デバイスネット、プロフィバスの通信モデルが選択できます。10SCCM～200SLMまでと幅広く、様々な分野のガス制御に利用可能です。さらにマルチレンジ・マルチガス機能を搭載したことにより、専用ソフトウェアで簡単に仕様変更することができます。

特長

  • デジタル補正機能を搭載
  • 新開発Variable PIDアルゴリズムを搭載(フルレンジ1秒以内)
  • マルチレンジ・マルチガス機能を搭載

仕様

型式 SEC-N11x タイプ
流量精度 *1 ±1.0% S.P. (設定流量 >30%F.S. )
±0.3% F.S. (設定流量≦30%F.S. )
フルスケール流量 *2
(N2換算流量) 		10／ 17.5／30／55／100／175／300／550 SCCM
1／1.75／3／5.5／10SLM
動作差圧 10SCCM～ 3SLM：50～300kPa(d)
5.5, 10 SLM：100～300kPa(d)
耐圧 1000kPa(g)
標準継手 1／ 4VCR相当・1／4 Swagelok相当*3
価格 190,000～

＊1： 流量精度の保証温度は、SEMI規格E56-1296に準拠しています。
＊2：SCCM(mL／min )、SLM (L／min )は、0ºC、101.3kPaの校正を表す記号です。
＊3：1／4Swagelok相当は、SEC-N100Wシリーズに対応します。
注) 上記以外のSEC-N100シリーズも取扱可能です。詳細はお問い合わせください。