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堀場エステック社製品

小型流量センサ MF-Fフローラインシリーズ

特長

  • 大容量でもコンパクト
    • 500、1000L/minタイプでは、業界トップクラスの小型化を実現しました。設備の小型化、軽量化に貢献します。
  • 高速応答 50msec以下
    • シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献します。
  • 精度±3%F.S.以下
    • 精度±3%F.S.以下を実現し、より正確な流量計測が可能になりました。
  • 自由な取り付け姿勢
    • 上下左右どの方向にも取り付けることができます。
  • 直管部不要
    • 新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要です。
  • ツイン表示/2色表示機能
    • ツイン画面とサブ画面により、操作性を向上させました。さらに、2色表示で異常が一目でわかります。
ボディ材質
接続口径
フルスケール流量
500
mL/min
1
L/min
2
L/min
5
L/min
10
L/min
20
L/min
樹脂
φ6
ワンタッチ
○
○
○
○
○
○
φ8
ワンタッチ
            
ステンレス
Rc1/8
○
○
○
○
○
○
Rc1/4
            
アルミ
Rc1/2
            

ボディ材質
接続口径
フルスケール流量
50
l/min
100
L/min
200
L/min
500
L/min
1,000
L/min
樹脂
φ6
ワンタッチ
○
        
φ8
ワンタッチ
○
○
○
    
ステンレス
Rc1/8
○*1
        
Rc1/4
○
○
○*2
    
アルミ
Rc1/2
      
○
○

＊1:炭酸ガスモデルは除く
＊2:アルゴンモデル、炭酸ガスモデルは除く

適応流体
ボディ材質
フルスケール流量
500
mL/min
1
L/min
2
L/min
5
L/min
10
L/min
空気・窒素
樹脂
○
○
○
○
○
ステンレス
○
○
○
○
○
アルミ
          
アルゴン
ステンレス
○
○
○
○
○
炭酸ガス
ステンレス
○
○
○
○
○

適応流体
ボディ材質
フルスケール流量
20
L/min
50
l/min
100
L/min
200
L/min
500
L/min
1,000
L/min
空気・窒素
樹脂
○
○
○
○
    
ステンレス
○
○
○
○
    
アルミ
        
○
○
アルゴン
ステンレス
○
○
○
      
炭酸ガス
ステンレス
○
○
○