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ガス清浄装置

ヘリウム精製器 HP-2

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ヘリウム精製器 HP-2

キャリヤーガスの純度は高感度分析を行う上で重要なものです。ヘリウム中の不純物は、GCでの高感度分析を行う際に妨害となります。バルコHP-2(ヘリウム精製器)は、HeやKr、Xeなどの不活性ガスから反応性ガス状不純物をsub-ppmまで減少させ、実用的な純度を供給します。窒素を精製するNP-2もあります。
バルコ社製ガス精製器は、不揮発性吸着合金を使用しています。吸着剤は加熱により活性化され、粒子表面の酸化膜を除去し、不動態化酸化層から表面を遊離させ吸着を有効にします。活性化は、減圧下または不活性ガス(He、Ar、Kr、Xe)大気圧のもとで行われます。ヘリウム精製器は吸着剤を最適温度に維持する自動調整設計になっています。

仕様

精製対象ガス He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
最高使用圧力 6.89 MPa
最大流量 1 L/min
入出口接続 1/16"インターナルジョイント用
除去される不純物 H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2、CH4入口トータル10ppm、
出口不純物10ppb以下CF4、CCl4、SiH4、低級炭化水素も除去されます。
除去されない成分 He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn
大きさ 117(W)×112(D)×390(H)mm
重さ 3.6kg
電源 AC110V

※一般工業用ヘリウムガスは不純物が多いため、HP-2の触媒の劣化を低減する目的で、ボンベからHP-2へ
ヘリウムガスを導入する前に、ガス精製フィルターなどでプレクリーンしたガスの導入をお薦めします。

品名入数Cat.No.価格
ヘリウム精製器 HP21台3002-36610205,000
交換用触媒(I-23572HP2 GetterAssembry)1式3002-36611119,000

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