特長
および
用途

切換タッチが軽く、取付スペースが小さい小型グリースレスバルブです。

通常の分析における各種流路切換に使用できます。

多流路の切換に使用できます。
10方切換バルブはバックフラッシュとガスサンプリングを同時に行えるなどの用途があります。

流路径が1.5φのバルブです。

流路径が3φと太いために、大量のガスが流れる流路切換に使用できます。

種類
切換型
（Switching）

CF-4（4方）
CF-6（6方）
CF-8（8方）
（それぞれに延長シャフト50、100、125mmがあります。）

MF-10（10方）
MF-4D（2連4方）
MF-6D（2連6方）

MF（1.5）－4（4方）
MF（1.5）－6（6方）
MF（1.5）－8（8方）

MF（3）－4（4方）
MF（3）－6（6方）
MF（3）－8（8方）
注）MF（3）-8は、流路径が2.5φになります。

ロータリー型
（Stream Selection）

CFR-4J（4方）
CFR-6J（6方）
CFR-8J（8方）

MFR-6（6方）
MFR-8（8方）
MFR-10（10方）
MFR-12（12方）
MFR-16（16方）
MFR-4D（2連4方）
MFR-6D（2連6方）
MFR-8D（2連8方）

MFR（1.5）－4（4方）
MFR（1.5）－6（6方）
MFR（1.5）－8（8方）

MFR（3）－4（4方）
MFR（3）－6（6方）
MFR（3）－8（8方）
注）MF（3）-8は、流路
径が2.5φになります。

切換流路径

0.5mm

1.0mm

1.5mm

3.0mm

(8方は2.5mm)

耐圧（Max.）

490kPa

686kPa

490kPa

490kPa

耐熱（Max.）

180ºC

180ºC

150ºC

150ºC

材質（ベース）
（ローター）

SUS316
PTFE

SUS316
PTFE

SUS316
PTFE

SUS316
PTFE

ヘリウムリーク量
（at 25ºC）

10^-5TorrL／sec以下

10^-5TorrL／sec以下

10^-5TorrL／sec以下

10^-4TorrL／sec以下

標準接続部

SUS316チューブ
外径 1／16" 内径 0.8mm
長さ 120mm カットオフ

SUS316チューブ
外径 1／16"
内径 0.8mm
長さ 120mm
カットオフ

SUS316チューブ
外径 1／8"
内径 2.17mm
長さ 120mm
カットオフ

SUS316チューブ
外径 4mm
内径 3mm
長さ 120mm
カットオフ

口金を指定する場合
（別途指定口金加工料金が付加されます。）

口金指定はできません。

ジョイントおよびリードチューブの長さは注文時に指定してください。
（最長200mm）

ジョイントおよびリードチューブの長さは注文時に指定してください。
（最長200mm）

ジョイントおよびリードチューブの長さは注文時に指定してください。
（最長200mm）