EDAX ORBIS II エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置

EDAX Orbis II マイクロフォーカス蛍光X線 (micro-XRF) システムは、比類のない柔軟性と使いやすさを備え、非破壊で高性能な元素分析を実現します。マイクロXRFのあらゆるアプリケーションにおいて卓越した性能を発揮するように設計されたOrbis IIは、極小粒子から大型で複雑な試料まで、あらゆる試料を迅速かつ正確に分析することを可能にします。
特長
- カスタムX線ウィンドウテクノロジーにより、軽元素の検出が可能
- 独自の同軸光とX線光学系により、特定の領域を正確にターゲットにし、隣接領域からのX線干渉を排除
- スペクトル収集を2.5倍、スペクトルマップ速度を3倍以上高速化することで、スループットを最大化
- プログラム可能な自動実行ルーチンによりワークフローを合理化し、生産性を向上させ、一貫した高品質な結果を実現

高速マッピング
強化されたステージマッピングと最適化されたステージコントロールにより、ステージ移動時間が3~4分の1に短縮され、より高速で効率的なスキャンが可能になります。これらの進歩により、より短時間で高品質なデータが得られるため、1日に分析できる試料数が増え、ラボの生産性を最大限に高めることができます。

左図は、
【15 mm x 15 mmの床タイル材を、管電圧50 kV・管電流1,000 µA】
で測定した例です。
30 µmφのポリキャピラリー光学系により、15 µmのステップサイズと200 msのピクセル時間で高解像度のマッピングが可能になりました。
2つのモデル
Orbis II Plus
特許取得済みのシリコンナイトライドウィンドウを採用した30 mm²のX線検出器を搭載しています。
最大250,000カウント/秒(cps)のスループットを実現します。
Orbis II Super
ベリリウムウィンドウを採用した70 mm²のX線検出器を標準装備し、最大450,000 cpsのスループットを
実現します。Orbis II Superには、分析ニーズに合わせてシリコンナイトライドウィンドウへ変更する
オプションも用意されています。
下図は、EDAX Orbis IIの2種類のウィンドウオプションの透過率曲線を示したグラフです。

ベリリウムウィンドウ(赤)は高いX線エネルギーで高い透過率を示し、
シリコンナイトライドウィンドウ(緑)は低いX線エネルギーで優れた性能を示します。