製品情報

発生ガス分析

シリコンウエハアナライザー WA 2560シリーズ

シリコンウエハ加熱部

シリコンウエハ加熱部

概要

シリコンウエハ表面から加熱脱離した有機汚染物質の捕集のみを行うオフラインシステムWA 2560Mと、そのままガスクロマトグラフに導入できるオンラインシステムWA 2560をラインアップしています。オフラインシステムは、WA 2560Mでサンプリングを行なった後に、サンプルチューブをWA 2560Mから取り外し、加熱脱離装置に取り付けて測定を行います。従来機のSWA 256Mに新機能を追加し、より高性能な装置としてリニューアルしました。

特長

  • シリコンウエハ表面(片側)のみの測定が可能
  • 700ºCの高温までシリコンウエハの加熱が可能
  • 石英チャンバーと不活性なラインによる、サンプルの吸着と分解の低減
  • パージガスエコモード搭載
  • パージガス選択機能追加

仕様(オフラインシステムWA 2560M)

ウエハサイズ 3~12"(300mm)
ウエハ加熱温度 100~700ºC(加熱炉)
チャンバー材質 石英
使用ガス He (99.995%以上、400~600 kPa)
Air (500~600 kPa)計装用
大きさ 990(W)× 1030(D)× 1900(H)mm
重さ 約400kg
電源 AC200 V、50/60 Hz、40 A

仕様(オンラインシステムWA 2560)

ウエハサイズ 3~12"(300mm)
ウエハ加熱温度 100~700ºC(加熱炉)
チャンバー材質 石英
クライオ冷却温度 ~-150ºC(液体窒素冷却)
クライオ加熱温度 最大 300ºC
使用ガス He (99.995%以上、400~600 kPa)
Air (500~600 kPa)計装用
大きさ
1240(W)× 1000(D)× 1900(H)mm
重さ 約500kg
電源 AC200 V、50/60 Hz、30 A
AC100 V、50/60 Hz、30 A

注) 上記以外に、20 Lデュワービンセットが付属します。

分析例

この測定データは一定時間(2.5日間、7日間)クリーンルームに放置したシリコンウエハを測定したものです。一番上のクロマトグラムはクリーンルームに放置せずにウエハボックスに7日間保管したシリコンウエハです。
このシリコンウエハ表面にはトータルで2.7ng/cm2(炭化水素C16H32換算値以下同様)の有機化合物が吸着しており、ウエハボックスからの発生ガスである酸化防止剤BHTが検出されています。
中段のクロマトグラムはクリーンルームに2.5日間放置したシリコンウエハです。トータル有機物量はウエハボックス保管ウエハの約3倍の8.1ng/cm2になっています。
さらにクリーンルーム由来のDOA(アジピン酸エステル)DOP(フタル酸エステル)がそれぞれ0.67ng/cm2、1.2ng/cm2検出されています。
一番下のクロマトグラムはクリーンルームに7日間放置したシリコンウエハです。トータル有機物量は2.5日間放置したシリコンウエハの2倍以上の18.8ng/cm2になっています。それに対し、DOA、DOPは約6倍の4.0ng/cm2、7.8ng/cm2検出されているという興味深い結果となっています。

品名型式入数Cat.No.価格
シリコンウエハアナライザー (オンラインシステム)WA25601台7010-2560029,000,000
シリコンウエハアナライザー (オフラインシステム)WA2560M1台7010-2560115,500,000