スーパークリーンガスフィルターを使用すると、99.9999 % 純度と同等の精製ガスを得ることが可能です。
カートリッジタイプのスーパークリーンガスフィルターは、専用のベースプレートに内蔵された特殊構造によりガスがストップするため、フィルター交換時に外気が混入することがありません。工具無しで取り外しが可能なため、簡単に交換作業が行えます。また、フィルター交換時期が一目で分かるインジケーターが付属しています。