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ガス混合装置

ガス混合装置

ガス混合器

ガス混合器

2種のガス混合装置は、高性能のマスフローコントローラー2台を搭載しています。
それぞれの流量を設定することで、簡単に混合ガスを調整できます。
検量線作成時に必要な「濃度違いの標準ガス」調整にも活用できます。
また、3種以上のガス混合装置も製造可能です。別途、お問い合わせください。

特長

  • ガスラインに高性能のマスフローコントローラーを搭載
  • 簡単に流量調整が可能
  • 希釈倍率は1/2 ～1/100の範囲で設定可能

仕様

標準ガス用

流量範囲レンジ 200 mL/min
（He 20 ℃ 1013hPaにて校正）※
制御範囲 4～200 mL/min
流量精度 フルスケールの1 %
耐圧 1.4 MPa
動作差圧 34.3～274.4 kPa

※ヘリウムガスで校正を行なっていますが、異なるガス種で校正を行なった製品も製造可能です。

希釈ガス用

流量範囲レンジ 1000 mL/min
（He 20 ℃ 1013 hPaにて校正）※
制御範囲 20～1,000 mL/min
流量精度 フルスケールの1 %
耐圧 1.4 MPa
動作差圧 34.3～274.4 kPa

※ヘリウムガスで校正を行なっていますが、異なるガス種で校正を行なった製品も製造可能です。

使用方法

①標準ガス、希釈ガスラインを接続し供給します。
②マスフローコントローラーへの供給圧力を設定します。
③電源スイッチを入れ、ストップバルブを開けます。
④各ガスの流量設定表示をOUT側にして、流量を設定します。





各部の名称

 
 　1.POWER（電源スイッチ）
 　2.標準ガス用流量設定表示器
 　3.希釈ガス用流量設定表示器
 　4.標準ガス用ストップバルブ
 　5.希釈ガス用ストップバルブ



 		  　　1.AC100 V電源インレット（ヒューズ内蔵型）
 　　2.アース端子
　　 3.混合ガス出口
　　 4.標準ガス供給口
　　 5.希釈ガス供給口
 　　6.標準ガス供給圧力調整器
 　　7.希釈ガス供給圧力調整器
 　　8.標準ガス供給圧力計
 　　9.希釈ガス供給圧力計