製品情報

純ガス中不純物分析装置

アルゴン中不純物分析装置

概要

アルゴン中不純物分析装置は、H2、N2をPDD検出器で、CH4、CO、CO2 をメタナイザーとFID検出器の組合せで、それぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。
PDD検出器分析ラインの分析カラムをドライアイス-メタノールで冷却することによりN2とアルゴンのリテンションタイムを逆転させて分析します。PDD検出器側およびFID検出器側の両分析ラインとも分析対象以外の成分を自動切換バルブによりバックフラッシュおよびプレカットするため、メインカラムの劣化がなく分析時間も短縮できます。自動分析システムのため、スタートスイッチを押すだけでサンプルの注入およびクロマト処理装置のスタートなどができます。

分析成分

  • H2,N2,CH4,CO,CO2

主な機器構成

  • ガスクロマトグラフ GC4000 FID+PDD 1台
  • メタナイザー MT221 1台
  • 高純度分析用切換バルブ 3台
  • 高純度用流量調節器 1式
  • 分析カラム
  • データ処理機(EZChrom Elite, パソコン一式)1セット

データ例

Arガス(PDD)

Arガス(PDD)

Arガス(FID)

Arガス(FID)