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純ガス中不純物分析装置
ヘリウム中不純物分析装置
ヘリウム中不純物分析装置
概要
本装置は、H2、O2、N2をPDD検出器で、CH4、CO、CO2をFID検出器およびメタナイザーでそれぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。キャリヤーガスにヘリウムを使うことで、主成分の影響を受けることなく、高感度分析が行えます。
分析成分
- H2,O2,N2,CH4,CO,CO2
主な機器構成
- ガスクロマトグラフ GC4000 FID+PDD 1台
- メタナイザー MT221 1台
- 高純度分析用切換バルブ 2台
- 高純度用流量調節器 1式
- 分析カラム
- データ処理機(EZChrom Elite, パソコン一式）1セット
データ例
He中の各成分1ppm混合ガス
He中の不純物 数10ppbオーダー
測定範囲
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検出器
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成分名
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測定範囲（標準仕様）
|
測定範囲（高度仕様）
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|---|---|---|---|
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PDD
|
H2
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0.2～100ppm
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0.01～2ppm
|
|
O2
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0.1～100ppm
|
0.01～2ppm
|
|
|
N2
|
0.1～100ppm
|
0.01～2ppm
|
|
|
CH4
|
0.1～100ppm
|
0.01～2ppm
|
|
|
CO
|
0.1～100ppm
|
0.01～2ppm
|
|
|
CO2
|
0.1～100ppm
|
0.01～2ppm
|
|
|
FID+メタナイザー
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CH4
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0.5～100ppm
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0.05～2ppm
|
|
CO
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0.5～100ppm
|
0.05～2ppm
|
|
|
CO2
|
1.0～100ppm
|
0.05～2ppm
|
仕様
設置スペース
| 幅 | 1.8m（GC、パソコン、プリンタを全て横に並べた場合） |
| 高さ | 0.7m |
| 奥行き | 0.7m |
| 重量 | 約80kg |
供給ガス
| ヘリウム | 純度99.9999%以上 圧力400～600kPa |
| 水素 | FID燃焼用 純度99.995%以上 圧力400～600kPa |
| 空気 | FID助燃用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力300～400kPa （高感度仕様の場合、高純度空気を推奨） |
| 計装空気 | バルブ駆動用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力500～700kPa |
| 接続 | 外径1/8" Swagelok継手 |
サンプルガス
| 接続 | 外径1/8" Swagelok継手 |
電源
| SC100V 50/60Hz 15A ×1ライン（データ処理部、周辺機器用） |
| SC100V 50/60Hz 20A ×1ライン（ガスクロマトグラフ用） |