純ガス中不純物分析装置
ヘリウム中不純物分析装置
概要
本装置は、H2、O2、N2をPDD検出器で、CH4、CO、CO2をFID検出器およびメタナイザーでそれぞれppmオーダーの定量ができるシステムです。キャリヤーガスにヘリウムを使うことで、主成分の影響を受けることなく、高感度分析が行えます。
分析成分
- H2,O2,N2,CH4,CO,CO2
主な機器構成
- ガスクロマトグラフ GC4000 FID+PDD 1台
- メタナイザー MT221 1台
- 高純度分析用切換バルブ 2台
- 高純度用流量調節器 1式
- 分析カラム
- データ処理機(EZChrom Elite, パソコン一式)1セット
データ例
測定範囲
検出器
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成分名
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測定範囲(標準仕様)
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測定範囲(高度仕様)
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PDD
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H2
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0.2~100ppm
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0.01~2ppm
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O2
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0.1~100ppm
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0.01~2ppm
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N2
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0.1~100ppm
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0.01~2ppm
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CH4
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0.1~100ppm
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0.01~2ppm
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CO
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0.1~100ppm
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0.01~2ppm
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CO2
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0.1~100ppm
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0.01~2ppm
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FID+メタナイザー
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CH4
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0.5~100ppm
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0.05~2ppm
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CO
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0.5~100ppm
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0.05~2ppm
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CO2
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1.0~100ppm
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0.05~2ppm
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仕様
設置スペース
幅 | 1.8m(GC、パソコン、プリンタを全て横に並べた場合) |
高さ | 0.7m |
奥行き | 0.7m |
重量 | 約80kg |
供給ガス
ヘリウム | 純度99.9999%以上 圧力400~600kPa |
水素 | FID燃焼用 純度99.995%以上 圧力400~600kPa |
空気 | FID助燃用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力300~400kPa (高感度仕様の場合、高純度空気を推奨) |
計装空気 | バルブ駆動用 除湿されミスト・ダスト等を除いたもの 圧力500~700kPa |
接続 | 外径1/8" Swagelok継手 |
サンプルガス
接続 | 外径1/8" Swagelok継手 |
電源
SC100V 50/60Hz 15A ×1ライン(データ処理部、周辺機器用) |
SC100V 50/60Hz 20A ×1ライン(ガスクロマトグラフ用) |