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シロキサン(加熱脱離法)
Siloxane
分類 | データNo | カラム | 関連資料 |
---|---|---|---|
GC | GA280 | InertCap 1MS |
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化合物
- オクタメチルシクロテトラシロキサン【Octamethyl cyclotetrasiloxane】
- デカメチルシクロペンタシロキサン【Decamethyl cyclopentasiloxane】
- ドデカメチルシクロヘキサシロキサン【Dodecamethyl cyclohexasiloxane】
キーワード
Semicon|Silicon|シロキサン|セミコン|半導体|接点不良|シリコン|MS|TD|InertCap 1MS