技術情報

アプリケーション検索APPLICATION SEARCH

LSI物質由来のアウトガス分析
Outgas released from LSI Materials

分類 データNo カラム 関連資料
GC GA062 InertCap 1MS  

※フレーム内に表示されない場合はPDFを開いてご覧ください。PDFを開く

化合物

  • アジピン酸ジ-2-エチルヘキシル【Di(2-ethylhexyl)adipate(DOA)】
  • アジピン酸-n-ブチル【Di-n-butyl adipate (DBA)】
  • リン酸トリフェニル【Triphenyl phosphate】
  • リン酸トリス-2-クロロエチル【Tris(2-chloroethyl)phosphate】
  • リン酸トリ-n-ブチル【Tri-n-butyl phosphate】
  • ジブチルヒドロキシトルエン【Butylated hydroxytoluene(BHT)】
  • フタル酸ジエチル【Diethyl phthalate (DEP)】
  • フタル酸ジブチル【Di-n-butyl phthalate】
  • フタル酸ジ-2-エチルヘキシル【Di(2-ethylhexyl)phthalate】
  • ドデカメチルシクロヘキサシロキサン【Dodecamethyl cyclohexasiloxane】

キーワード

clean room|semiconductor|atmosphere|SVOC|plasticizer|flame retardant|antioxidant|outgassing|クリーンルーム|セミコン|大気|準揮発性有機化合物|可塑剤|難燃剤|酸化防止剤|アウトガス