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LSI物質由来のアウトガス分析
Outgas released from LSI Materials
分類 | データNo | カラム | 関連資料 |
---|---|---|---|
GC | GA062 | InertCap 1MS |
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化合物
- アジピン酸ジ-2-エチルヘキシル【Di(2-ethylhexyl)adipate(DOA)】
- アジピン酸-n-ブチル【Di-n-butyl adipate (DBA)】
- リン酸トリフェニル【Triphenyl phosphate】
- リン酸トリス-2-クロロエチル【Tris(2-chloroethyl)phosphate】
- リン酸トリ-n-ブチル【Tri-n-butyl phosphate】
- ジブチルヒドロキシトルエン【Butylated hydroxytoluene(BHT)】
- フタル酸ジエチル【Diethyl phthalate (DEP)】
- フタル酸ジブチル【Di-n-butyl phthalate】
- フタル酸ジ-2-エチルヘキシル【Di(2-ethylhexyl)phthalate】
- ドデカメチルシクロヘキサシロキサン【Dodecamethyl cyclohexasiloxane】
キーワード
clean room|semiconductor|atmosphere|SVOC|plasticizer|flame retardant|antioxidant|outgassing|クリーンルーム|セミコン|大気|準揮発性有機化合物|可塑剤|難燃剤|酸化防止剤|アウトガス|InertCap 1MS