堀場エステック社製品

マスフローコントローラー

• 総合カタログ No.31P.1050

マスフローコントローラーは、使用する環境温度や、供給ガス圧の変化影響を受けることなく、電気信号により与えられた設定流量値に自動制御します。正確な流量計測が行えるため、流量を管理する必要がある場合や自動ラインの構築を行う場合に不可欠な機器として、幅広い産業分野でご使用いただけます。

動作原理 流量センサー、コントロールバルブ、制御回路などから構成され、ガスが流れるとセンサー部の上流と下流の間に温度差が生じ、質量流量に比例した出力が得られます。この出力と外部からの設定を比較し、信号が一致するようにバルブ開度を自動調節します。